1、大多数的堆积技能都能够将薄层厚度控制在几个到几十纳米标准的范围内，分子束外延技能能够得到单一原子层的结构。
2、将金属薄层堆积到衬底或之前获得的薄层的技能称为表面堆积。
3、硅酸铝纤维板在堆积前，在炉内主动对零件和靶材一起进行清洗，以得到高结合力和成份准确的堆积层。